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2025-03-29 04:46:52
金融界2024年12月31日音讯,国度常识产权局音信显示,上海集成电途研发核心有限公司博得一项名为“表延工艺安装”的专利,授权告示号 CN 222226647 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本适用新型供应了一种表延工艺安装,包罗紧闭式反响腔室、与所述紧闭式反响腔室的内壁结合的补光灯组、以及依序扶植于所述补光灯组下方的承载基座和基座撑持件,所述补光灯组用于为所述承载基座上的硅片周围区域供应温差补充。本适用新型管理了现有安装对硅片周围区域的薄膜孕育厚度难以举办精准调控的题目。